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绕开EUV光刻机的光芯片，有什么能耐？ [2023/11/6 9:32:22]
新闻资讯－IT业界－新闻 — 芯片一样，必须使用EUV等极高端光刻机，这意味着光芯片完全有机会摆脱光刻机的“卡脖子”问题。以清华大学前不久研发的ACCEL芯片为例，其光学部分的加工最小线宽仅采用百纳米级 全文