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国产EUV，光刻厂的方案可行么？ [2023/12/14 9:28:26]
新闻资讯－IT业界－新闻 — 01、“光刻厂”只是开路先锋从原理上来看，产生极紫外光有3种方式，分别是同步辐射、电子放电产生等离子体、激光驱动产生等离子体，根据这三种原理，目前EUV光源有四种可能的实 全文